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硅片在平面拋光機(jī)上加工效果
實(shí)驗(yàn)名稱(chēng)：硅片拋光加工試樣
實(shí)驗(yàn)設(shè)備：平面拋光機(jī)
實(shí)驗(yàn)效果：拋光后無(wú)塌邊，劃痕等現(xiàn)象出現(xiàn)，達(dá)到了較薄的厚度標(biāo)準(zhǔn)，平面度2u
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陽(yáng)極氧化后的鏡面拋光加工
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