產(chǎn)品標題：FD-9BL雙面研磨機(帶修面)
主要用途：
該雙面研磨機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光。
工作原理：
2．本系列研磨機為超高精密研磨設備，上、下研磨盤作相反方向轉動，工件在載體內(nèi)作既公轉又自轉的游星運動。磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高。
2．本系列研磨機修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行平面修整。
特 點
1． 本系列研磨機的上、下研磨盤可進行自動修盤。
2． 采用四個電機同步拖動，變速范圍更廣，運動精度更高，響應速度更快，能適應不同研磨材料及研磨工藝的要求，實現(xiàn)了軟啟動、軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。
3． 修面機采用伺服馬達驅動，能確保油壓懸浮導軌滑動更加平穩(wěn)，得到的平面修整效果非好。
4． 控制系統(tǒng)中采用DSP、Web-Link、彩色終端等先進技術，系統(tǒng)的響應速度更快、更精確，并具有遠程監(jiān)控，遠程維護功能；
5． 本系列研磨機有光柵厚度控制系統(tǒng)，加工后的產(chǎn)品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
技術參數(shù)：
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型 號 |
FD--9B |
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研磨盤規(guī)格： |
φ635×φ240×12t |
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最大加工工件尺寸 |
φ200mm |
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工件平面度（25mm） |
±0.2u以內(nèi) |
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工件平行度（25mm） |
±0.4u以內(nèi) |
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工件粗糙度（石英材料） |
0.4nm以內(nèi) |
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研磨盤修面后平行度 |
±2u以內(nèi) |
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游輪規(guī)格 |
φ230mm |
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游輪數(shù)量 |
5 枚 |
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下研磨盤轉速 |
0~140rpm |
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下研磨盤電機功率 |
2.2kw 3相380V |
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上研磨盤研磨轉速 |
0~60rpm |
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上研磨盤電機功率 |
1.5kw 3相380V |
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上研磨盤修面轉速 |
0~140rpm |
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上研磨盤修面電機功率 |
0.75kw 3相380V |
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太陽輪轉速 |
0~60rpm |
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太陽輪電機功率 |
0.75kw 3相380V |
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外齒輪轉速 |
0~30rpm |
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外齒輪電機功率 |
0.75kw 3相380V |
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修面機速度 |
200mm/分鐘 |
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修面機伺服馬達功率 |
750w |
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外形尺寸： |
1200×1650×2400mm |
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重量： |
2300kg |
相關資訊
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深圳市方達研磨技術有限公司
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